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      薄膜襯底

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      摻鐵鈦酸鍶(Fe:SrTiO3)

      薄膜襯底

      摻鐵鈦酸鍶(Fe:SrTiO3

      鈦酸鍶與鈦酸鍶單晶具有相似的結構。目前我們可以提供摻鐵濃度為:0.05%,0.04%的Fe:SrTiO3單晶基片。

       

      主要性能參數

      晶系

      方晶系

      生長方法

      火焰法

      晶格常數

      a=3.905Å

      摻鐵濃度(Fe%)

      0.005%,0.04%

      熔點(℃)

      2080

      密度

      5.122(g/cm3

      硬度

      6-6.5mohs

      熱膨脹系數(/℃)

      9.4×10-6

      介電常數

      ε=5.20

      化學穩定性

      在水中不溶解

      熱膨脹系數

      10.4×10-6/k

      正切損耗

      ~5×10-4300k) ~3×10-477k

      尺寸

      10×3m、10×5m、10×10mm、15×15mm、20×15mm

      可按照客戶需求,定制特殊方向和尺寸的基片

      厚度

      0.5mm、1.0mm

      尺寸公差

      <±0.1mm

      厚度公差

      <±0.015mm特殊要求可達到<±0.005mm)

      拋光

      單面或雙面

      晶面定向精度

      ±0.5°

      邊緣定向精度

      2°(特殊要求可達到1°以內)

      取向

      <100>、<110>、<111>等

      包裝

      100級潔凈袋,1000級超凈室

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