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      薄膜襯底

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      摻鈮鈦酸鍶(Nb:SrTiO3)

      薄膜襯底

      摻鈮鈦酸鍶Nb:SrTiO3

      摻鈮鈦酸鍶與鈦酸鍶單晶具有相似的結(jié)構(gòu),但NSTO具有導(dǎo)電性。目前我們可以提供摻鈮濃度為:0.05%,0.1%,0.5% 和0.7%的Nb:SrTiO3,

      主要性能參數(shù)

      Nb:SrTiO3 級(jí)別

      A

      B

      C

      D

      Nb 濃度(wt%)

      1.0

      0.7

      0.5

      0.1

      電阻率 ohm-cm

      0.0035

      0.0070

      0.05

      0.08

      遷移率 cm2/vs

      9.0

      8.5

      8.5

      6.5

      特點(diǎn)

      Nb:SrTiO3SrTiO3單晶具有相似的結(jié)構(gòu),但NSTO具有導(dǎo)電性。電阻率范圍在0.1~0.001wt%之間不同。傳導(dǎo)的單晶基片為薄膜和器件提供了電極。

      尺寸

      10x3,10x5,10x10,15x15,,20x15,20x20,

      Ф15,Ф20,Ф1″,

      厚度

      0.5mm,1.0mm

      拋光

      單面或雙面

      晶向

      <100>  <110>  <111>

      晶面定向精度:

      ±0.5°

      邊緣定向精度:

      2°(特殊要求可達(dá)1°以內(nèi))

      斜切晶片

      可按特定需求,加工邊緣取向的晶面按特定角度傾斜(傾斜角1°-45°)的晶片

      Ra:

      ≤5Å(5µm×5µm)

      包裝

      100級(jí)潔凈袋,1000級(jí)超凈室

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