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      薄膜襯底

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      鋁酸鑭(LaAlO3)

      薄膜襯底

      主要性能參數(shù)
      晶系
      六方(常溫)
      立方(>435℃)
      晶格常數(shù)
      六方a=5.357A   c=13.22 A
      立方a=3.821 A
      熔點(diǎn)(℃)
      2080
      密度
      6.52(g/cm3
      硬度
      6-6.5(mohs)
      熱膨脹系數(shù)
      9.4x10-6/℃
      介電常數(shù)
      ε=21
      損耗正切(10ghz)
      ~3×10-4@300k,~0.6×10-4@77k
      顏色及外觀
      依退火狀況而不同,由棕黃色到褐色
      拋光基片有自然孿晶疇
      化學(xué)穩(wěn)定性
      室溫下不溶于礦物酸,溫度大于150℃時(shí)可溶于h3po4
      特點(diǎn)
      適于微波電子器件
      生長(zhǎng)方法
      提拉法
      尺寸
      10x3,10x5,10x10,15x15,,20x15,20x20,
      Ф15,Ф20,Ф1″,Ф2″,Ф2.6″
      厚度
      0.5mm,1.0mm
      拋光
      單面或雙面
      晶向
      <100>  <110>  <111>
      晶面定向精度:
      ±0.5°
      邊緣定向精度:
      2°(特殊要求可達(dá)1°以內(nèi))
      斜切晶片
      可按特定需求,加工邊緣取向的晶面按特定角度傾斜(傾斜角1°-45°)的晶片
      Ra:
      ≤5Å(5µm×5µm)
      包裝
      100級(jí)潔凈袋,1000級(jí)超凈室

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