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      外延薄膜

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       Au/Cr/Si

      外延薄膜

       

      主要性能參數(shù)


      Pt/Ti/SiO2/Si

      Au/Cr/Si

      制備方法:

      磁控濺射

      磁控濺射

      導(dǎo)電類(lèi)型

      P型 摻B,N型摻P

      P型摻B, N型摻P

      膜厚 :

      Pt:150nm;過(guò)渡層Ti:20nm SiO2 500nm

      Au,40~100nm,過(guò)渡層Cr,20nm

      硅片晶向

      <100>或者<111>

      <100>或者<111>

      常規(guī)尺寸:

      Dia4";Dia2"10mm*10mm ;10mm*5mm

      Dia2";10mm*10mm 10mm*5mm


       

       

       

       

       

       

                                                  

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