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      外延薄膜
      
				
      

				
			
      
		
      
	
      
    
    
    
      
		
      
			
      
				
      
					
       Home / 晶體產(chǎn)品 / 外延薄膜 /  /  Au/Cr/Si						
							
                      
      
                            
      
                            
      
						
      
                        
                        
                                                    
       Au/Cr/Si
      							
      
								
								
      
									
									
										
										
										
										
										
									
								
      
								
      外延薄膜
      
								
      
									
								
      

								
       
      主要性能參數(shù)

      Pt/Ti/SiO2/Si
      Au/Cr/Si
      制備方法:
      磁控濺射
      磁控濺射
      導(dǎo)電類型
      P型 摻B,N型摻P
      P型摻B, N型摻P
      膜厚 ：
      Pt：150nm；過渡層Ti：20nm ； SiO2： 500nm 
      Au,40~100nm,過渡層Cr,20nm
      硅片晶向
      <100>或者<111>
      <100>或者<111>
      常規(guī)尺寸：
      Dia4"；Dia2"；10mm*10mm ；10mm*5mm
      Dia2"；10mm*10mm ；10mm*5mm

       
       
       
       
       
       
                                                  
      
                                
                            
							
      

						
      
                        
                        
                        
                        
      
                        
      
                        
      
                        
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