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      外延薄膜
      
				
      

				
			
      
		
      
	
      
    
    
    
      
		
      
			
      
				
      
					
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      外延薄膜
      
								
      
									
								
      

								
      


      


      Major capability parameter
      

      


      Growth method
      		


      Czochralski method
      

      


      Crystal structure
      		


      M3
      

      


      Unit cell constant
      		


      a=5.65754 Å       
      

      


      Density
      		


      5.323g/cm3
      

      


      Melt point
      		


      937.4℃
      

      


      Doped material
      		


      No doped
      		


      Sb-doped
      		


      In / Ga –doped
      

      


      Type
      		


      /
      		


      N
      		


      P
      

      


      Resistivity
      		


      ＞35Ωcm
      		


      0.05Ωcm
      		


      0.05~0.1Ωcm
      

      


      EPD
      		


      ＜4×103∕cm2
      		


      ＜4×103∕cm2
      		


      ＜4×103∕cm2
      

      


      Size
      		


      10x3，10x5，10x10，15x15，，20x15，20x20，
      

      


      dia2” x 0.33mm dia2” x 0.43mm 15 x 15 mm
      

      


      Thickness
      		


      0.5mm，1.0mm
      

      


      Polishing
      		


      Single or double
      

      


      Crystal orientation
      		


      <100>、<110>、<111>、±0.5º
      

      


      Ra:
      		


      ≤5Å（5µm×5µm）
      

      


      Pack
      		


      100 clean bag，1000 exactly clean bag
      
                                
                            
							
      

						
      
                        
                        
                        
                        
      
                        
      
                        
      
                        
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