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      外延薄膜

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      ZnO

      外延薄膜

      Major capability parameter
      Crystal structure
      M6
      Unit cell constant
      a=3.252Å    c=5.313 Å
      Density
      5.7(g/cm3
      Hardness
      4(mohs)
      Melt point
      1975℃
      Thermal expansion
      6.5 x 10-6 /℃//a     3.7 x 10-6 /℃//c
      Planned constant
      1200 mv/k @ 300 ℃
      Thermal conductivity
      0.006 cal/cm/k
      Through scope
      0.4-0.6 um > 50% at 2mm
      Crystal orientation
      <0001>、<11-20>、<10-10>±0.5º
      Size(mm)
      25×25×0.5mm、10×10×0.5mm、10×5×0.5mm、5×5×0.5mm
      special size and orientation are available upon request
      Surface rough
      Surface roughness(Ra):<=5A
      Polishing
      Single or double
      Pack
      100 clean bag,1000 exactly clean bag

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