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薄膜襯底

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鍺（Ge）

薄膜襯底

主要性能參數
生長方法	提拉法
晶體結構	立方
晶格常數	a=5.65754 Å
密度	5.323g/cm3
熔點	937.4℃
摻雜物質	不摻雜	摻Sb	摻In或Ga
類型	/	N	P
電阻率	＞35Ωcm	0.05Ωcm	0.05~0.1Ωcm
EPD	＜4×103∕cm2	＜4×103∕cm2	＜4×103∕cm2
尺寸	10x3，10x5，10x10，15x15，，20x15，20x20，
	dia2” x 0.33mm dia2” x 0.43mm 15 x 15 mm
厚度	0.5mm，1.0mm
拋光	單面或雙面
晶向	<100>、<110>、<111>、±0.5º
晶面定向精度:	±0.5°
邊緣定向精度:	2°（特殊要求可達1°以內）
斜切晶片	可按特定需求，加工邊緣取向的晶面按特定角度傾斜（傾斜角1°－45°）的晶片
Ra:	≤5Å（5µm×5µm）
包裝	100級潔凈袋，1000級超凈室

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