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								合肥市蜀山區(qū)仰橋路87號3棟1樓
							

						
      
					
      
				
      
			
      

				
		
      


		
		
      
					
			
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      金屬靶材
      							
      
								
								
      
									
									
										
										
										
										
										
									
								
      
								
      濺射靶材
      
								
      
									
								
      

								
      材料
      純度
      最大尺寸
      制備方法
      Al
      3~5N
      1000×300mm
      熔煉
      Ag
      4N
      1000×300mm
      熔煉
      Au
      4N
      800×300mm
      熔煉
      Bi
      4N
      400×200mm
      熔煉
      C石墨)
      3N
      600×300mm
      特殊燒結
      Co
      3N
      800×300mm
      熔煉
      Cr
      2N5~3N5
      500×200mm
      特殊燒結
      Cu
      3N7
      1000×300mm
      熔煉
      Fe
      2N5,3N,4N
      1000×300mm
      熔煉
      Ge
      4N
      Dia 4″
      特殊燒結
      Hf
      3N
      500×200mm
      熔煉
      In
      4N
      800×300mm
      熔煉
      Mg
      3N5
      500×300mm
      熔煉
      Mo
      3N5
      500×300mm
      特殊燒結
      Ni
      2N5,3N5,4N5
      1000×300mm
      熔煉
      Pb
      3N,4N
      800×300mm
      熔煉
      Pd
      3N
      500×300mm
      熔煉
      Si
      5N
      Dia 4″
      特殊燒結
      Sn
      3N5,5N
      1000×300mm
      熔煉
      Ta
      3N5
      1000×300mm
      熔煉
      Ti
      2N5,3N
      1000×300mm
      熔煉
      V
      2N5,3N
      1000×300mm
      熔煉
      W
      3N5
      1000×300mm
      熔煉
      Zn
      3N,4N
      800×300mm
      熔煉
      Zr
      3N
      800×300mm
      熔煉
      
                                
                            
							
      

						
      
                        
                        
                        
                        
      
                        
      
                        
      
                        
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