鋁酸鎂鈧（ScMgAlO4）
ScAlMgO4晶體是最近發(fā)展起來(lái)的一種GaN和ZnO異質(zhì)外延用理想的襯底材料，是目前與GaN和ZnO晶格失配最小的新型襯底材料。ScAlMgO4晶體屬于六方晶系，晶格常數(shù)a=0.3246nm，c=2.5195nm，具有菱形六面體層狀結(jié)構(gòu)，與纖鋅礦氮化物和氧化鋅的結(jié)構(gòu)相似。
ScAlMgO4是一種與GaN和ZnO 晶格常數(shù)和結(jié)構(gòu)非常匹配的襯底材料（表1）。它與GaN的晶格失配率約為1.8%，與ZnO的晶格失配率僅為0.09%，a軸的熱膨脹系數(shù)為6.2×10-6/℃，c軸的熱膨脹系數(shù)為12.2×10-6/℃，與GaN、ZnO外延薄膜之間的熱膨脹系數(shù)失配比傳統(tǒng)的藍(lán)寶石和硅等襯底好的多。
表1 主要襯底材料與GaN及ZnO的晶格失配率
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襯底材料 |
ScAlMgO4 (0001) |
ZnO (0001) |
SiC (0001) |
β-Ga2O3 (100) |
Al2O3 (0001) |
Si (111) |
|
與GaN失配 |
+1.8% |
+2.3% |
-3.5% |
+5% |
-13% |
+16.9% |
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與ZnO失配 |
+0.09% |
--- |
-5.2% |
-6.5% |
-18.4% |
+40.1% |
提供產(chǎn)品：
方向：（0001）
尺寸：5×5mm, 10*10mm, 15*15mm, 20*20mm