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      外延薄膜

      Home / 晶體產品 / 外延薄膜 / / SiO2/Si
      SiO2/Si

      外延薄膜

      主要性能參數
      晶體結構
      面心立方
      熔點(℃)
      1420
      密度
      2.4(g/cm3
      類 型
      N或P
      N
      P
      摻雜
      /
      P(磷)
      B(硼)
      膜厚
      300~ 500nm
      電 阻 率
      >1000Ωcm
      10-3~104Ωcm
      10-3~104Ωcm
      E P D
      ≤100∕cm2
      ≤100∕cm2
      ≤100∕cm2
      氧含量(∕cm3)
      ≤1~1.8×1018
      ≤1~1.8×1018
      ≤1~1.8×1018
      碳含量(∕cm3)
      ≤5×1016
      ≤5×1016
      ≤5×1016
      尺寸
      10×10mm、15×15mm、Dia50.8mm、Dia76.2mm、Dia100mm
      可按照客戶需求,定制特殊方向和尺寸的基片
      厚度
      0.3-0.5mm、1.0mm
      尺寸公差
      <±0.1mm
      厚度公差
      <±0.015mm特殊要求可達到<±0.005mm)
      拋光
      單面或雙面
      晶面定向精度
      ±0.5°
      邊緣定向精度
      2°(特殊要求可達到1°以內)
      取向
      <100>、<110>、<111>等
      包裝
      100級潔凈袋,1000級超凈室

       

       

       

       

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