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								0551-65385002
							

							
								
								合肥市蜀山區(qū)仰橋路87號3棟1樓
							

						
      
					
      
				
      
			
      

				
		
      


		
		
      
					
			
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      薄膜襯底
      
				
      

				
			
      
		
      
	
      
    
    
    
      
		
      
			
      
				
      
					
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      鋁酸鍶鉭鑭(La,Sr)(Al,Ta)O3 LSAT
      							
      
								
								
      
									
									
										
										
										
										
										
									
								
      
								
      薄膜襯底
      
								
      
									
								
      

								
      主要性能參數(shù)
      生長方法
      提拉法
      晶體結(jié)構(gòu)
      立方
      晶格常數(shù)
      a=3.868 A    
      熔點(diǎn)（℃）
      1840
      密度
      6.74（g/cm3）
      硬度
      6.5（mohs）
      介電常數(shù)
      22
      熱膨脹系數(shù)
      10 x 10-6 
      顏色及外觀
      根據(jù)退火情況由無色到淺棕色，無鸞晶和可見疇
      尺寸
      10x3，10x5，10x10，15x15，，20x15，20x20，
      Ф15,Ф20，Ф1″，Ф2″
      厚度
      0.5mm，1.0mm
      拋光
      單面或雙面
      晶向
      <100>、<110>、<111>±0.5&ordm;
      Ra:
      ≤5&Aring;（5&micro;m×5&micro;m）
      包裝
      100級潔凈袋，1000級超凈室
      
                                
                            
							
      

						
      
                        
                        
                        
                        
                        
                        
					
      	
				
      

				
			
      
		
      
	
      
	
	

    
    	
	
      
		
			
		
	
      

	
	

	

	

	
	

	
	
	
	
	
	
	
	
	
	
	
	
	
	
	

	

	
	

	
	

	




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